EUV(극자외선 노광)
Extreme Ultraviolet Lithography
아주 짧은 파장의 빛으로 반도체 회로를 그리는 기술이에요. 가장 앞선 칩을 만드는 데 쓰여요.
조금 더 자세히
칩의 회로는 빛을 비춰 웨이퍼에 무늬를 찍는 방법으로 그려요. 이 일을 노광이라고 해요. 빛의 파장이 짧을수록 더 가는 선을 그릴 수 있어요. EUV는 파장이 13.5나노미터인 극자외선을 써서, 이전 빛으로는 그리기 어렵던 가는 회로를 그려요.
이 빛은 공기와 유리에도 흡수돼요. 그래서 장비 안을 진공으로 만들고, 렌즈 대신 아주 매끈한 거울로 빛을 반사시켜요. 만들기가 워낙 어려워서 칩 생산용 EUV 노광 장비를 파는 회사는 네덜란드의 ASML 한 곳뿐이에요.
예를 들면
무늬를 오려 낸 판에 스프레이를 뿌려 그림을 찍는 것과 비슷해요. 스프레이 알갱이가 고울수록 작은 무늬도 또렷하게 찍혀요. EUV는 가장 고운 스프레이예요.
왜 알아 둘 만한가요
이 장비가 없으면 가장 앞선 칩을 제대로 만들기 어려워요. 한 회사만 만들고 수가 적어서, 누가 몇 대를 들이는지와 어느 나라에 팔 수 있는지가 반도체 뉴스에 자주 나와요.
이렇게도 불러요극자외선, EUV 노광